研究型原子力顯微鏡

Park XE7配有Park Systems的所有**技術(shù)，而且價(jià)格十分親民。與Park Systems的其他上等型號(hào)相比，XE7在細(xì)節(jié)的設(shè)計(jì)上也相當(dāng)用心，是幫助您準(zhǔn)時(shí)且不超預(yù)算地完成研究的理想之選。

XE scan system

XY flexure scanner

 XE-Peformence

圖9. (a)表示Park Systems XE系統(tǒng)的背景曲率為零，而(b)是傳統(tǒng)的原子力顯微鏡系統(tǒng)的管式掃描器的典型背景曲率，(c)展示了這些背景曲率的橫截面。
圖9展示了XE系統(tǒng)(a)和傳統(tǒng)原子力顯微鏡(b)掃描硅片時(shí)，未處理的成像圖。由于硅片屬于原子級(jí)光滑材料，因此圖像中的彎曲大多數(shù)是掃描器所引起的。圖9(c)展示了圖9中(a)(b)圖像的橫截面。由于管式掃描器本身帶有背景曲率，因此當(dāng)X軸的位置移動(dòng)15 μm時(shí)，平面外移動(dòng)*大可達(dá)80 nm。而在相同的掃描范圍內(nèi)，XE掃描系統(tǒng)的平面外移動(dòng)則不超過1 nm。XE掃描系統(tǒng)的另一大優(yōu)勢(shì)是Z軸伺服回應(yīng)。圖10是XE掃描系統(tǒng)在無接觸模式下拍下的一個(gè)多孔聚合物球體（二乙烯苯）的圖像，其直徑大約為5 μm。由于XE掃描系統(tǒng)的Z軸伺服回應(yīng)極其精準(zhǔn)，探針可以**地沿著聚合物球體上的大曲率以及小孔平面結(jié)構(gòu)移動(dòng)，而不會(huì)壓碎或粘連在其表面上。圖11是Z軸伺服回應(yīng)在平坦背景上高性能的表現(xiàn)。

在True Non-Contact?模式中，探針**與樣品的距離在相互原子力的控制下，被成功地控制在幾納米之間。探針**振動(dòng)幅度下，大大減少了探針與樣品的接觸，從而完好地保護(hù)了探針和樣品。

True Non-Contact? Mode

Tapping Imaging

Longer Tip Life and Less Sample Damage

原子力顯微鏡探針的**十分脆弱，這使得它在接觸樣品后會(huì)快速變鈍，從而限制原子力顯微鏡的分辨率和圖像的質(zhì)量。對(duì)于材質(zhì)較軟的樣品，探針會(huì)破壞樣品，導(dǎo)致其高度測(cè)量不準(zhǔn)確。相應(yīng)地，探針保持完整性意味著顯微鏡可以持續(xù)提供高分辨率的**數(shù)據(jù)。XE系列原子力顯微鏡的真正非接觸模式能夠極大程度保護(hù)探針，從而延長其壽命，并減少對(duì)于樣品的破壞。下圖中以1:1的長寬比展示了XE系列原子力顯微鏡掃描淺溝道隔離樣品的未處理圖像，該樣品的深度由掃描電子顯微鏡(SEM)確定。在成像20次之后，探針幾乎有沒任何磨損。