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					在高分辨率、受好評(píng)的FineSAT Ⅲ的基礎(chǔ)上，進(jìn)一步提高了分辨率 
				
            
				
            
					
            
				
            
				
            
					為提高分辨率，提高了以往使用的超聲波頻率。 在高頻化方面，超聲波在傳播介質(zhì)中的衰減越來(lái)越大，信噪 
				
            
				
            
					比降低的弊端變大，所以在檢查用途方面，300MHz前后是實(shí)用的*高頻率。 
				
            
			            		
			
				
            
			            		
		
            
	            

            

            
300MHz頻率的超聲波，在*佳條件下，僅 限于5μm左右寬度的線型識(shí)別，對(duì)于正在應(yīng)用于*新LSI封裝的TSV、Cu柱等微細(xì)結(jié)構(gòu)體的檢查時(shí)，可能無(wú)法適用。
            
FineSAT HR開(kāi)發(fā)了新型電路、提高了分辨率，成功突破了這類超聲波檢查裝置的極限。
            
 

            
	產(chǎn)品構(gòu)成： 

            

            
	
		
            
			
			
			
				FS100ⅢHR
			
			
				FS200ⅢHR
			
			
				FS300ⅢHR
			
		
            
		
            
			
				支持探頭頻率(MHz)
			
			
				5～75
			
			
				5～140
			
			
				5～300
			
		
            
	            

            

            
            
                        
                    
            
                    

                
            
            
            
        
            
    
            

            

            






            
    
            
        
        
            
            
        
            
    
            

            



            
        
        
        
        
    

            
     


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